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Si(Li)検出器　Si(Li) detector

シリコン単結晶にリチウムをドリフトさせたPIN接合を使ったEDS検出器。検出器に入射したX線はそのエネルギーに比例した数の電子−正孔対を作るので、これを電流として取り出し測定することで、入射したX線のエネルギーを知ることができる。多くの場合、リチウムの拡散を防ぐためと電気ノイズを押さえるために液体窒素で冷却して用いる。EDS検出器と言うと、通常これを意味する。
Si検出器

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