Photomask

デジタル大辞泉

フォトマスク【photomask】

読み方：ふぉとますく

半導体集積回路、液晶ディスプレーなどの製造工程で、フォトリソグラフィー技術によってシリコン基板上に焼き込まれる回路のパターンの原板。透明なガラスや石英が用いられる。マスク。レチクル。

画像技術用語集

フォトマスク

読み：ふぉとますく
英語：photomask

半導体ICを製作するための回路パターンの原版のこと．これを通してフォトレジストに露光する．ガラス基板上に金属膜を蒸着し，フォトレジストを用いてエッチングによりパターンを形成したものが高精度の原版となるが，銀塩写真法によるマスクも多く使用される．