Co-Implantation
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2019/09/26 04:03 UTC 版)
「イオン注入」の記事における「Co-Implantation」の解説
ドーパント原子と共に炭素(C)、窒素(N)、フッ素(F)等の原子を注入することにより、熱処理時のドーパントの拡散が抑制される効果が得られる。浅い接合を形成するために用いられることがある。
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