電子線描画とは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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電子線描画（電子線リソグラフィー）　electron-beam lithography,EB lithography,EB writing

レジストを塗布した基板上に電子プローブを照射し、電子線損傷を利用して微細パターンを描く技術。パターンを描くためには、電子プローブをXY 単独に走査する機能、ビームブランキング機能が必要である。電子プローブだけで描画できる領域は小さいので、大きなパターンを描くには試料ステージの移動も併用する。

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