出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/11/20 08:32 UTC 版)
「電子線描画装置」の記事における「偏向器（デフレクタ）」の解説
電子線を一定の範囲で任意の位置に照射するために静電偏向器または電磁偏向器を用いる。X-Y-Zステージでは制御が難しい数十um～nm単位のビーム位置補正などを行う。
※この「偏向器（デフレクタ）」の解説は、「電子線描画装置」の解説の一部です。
「偏向器（デフレクタ）」を含む「電子線描画装置」の記事については、「電子線描画装置」の概要を参照ください。
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