出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/11/20 08:32 UTC 版)
「電子線描画装置」の記事における「電子線源（電子銃）」の解説
スポットビームは熱電子電界放出型（Thermal FEG (T-FEG)）としてZrO/W（酸化ジリコニウムタングステン）、矩形ビームはLaB6（6硼化ランタン）単結晶が用いられることが多い。
※この「電子線源（電子銃）」の解説は、「電子線描画装置」の解説の一部です。
「電子線源（電子銃）」を含む「電子線描画装置」の記事については、「電子線描画装置」の概要を参照ください。
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