照明効果とは? わかりやすく解説

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照明効果 illumination effect

SEM像は、検出器方向から光を当てたようなコントラスト持っており、これを照明効果と言う。これは、試料から放出され検出器に入る二次電子反射電子軌道逆進するような光で照明されるように見えることから起きることである。アウトレンズ検出器下方検出器では照明効果は強く現れるが、TTL検出器場合一様な照明となり、照明効果は弱い。
照明効果

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