深さ分析モード
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2019/11/03 17:44 UTC 版)
固体表面を、アルゴンやキセノンなどの希ガスイオンでスパッタリングしながら元素分析や状態分析を行うモード。
※この「深さ分析モード」の解説は、「X線光電子分光」の解説の一部です。
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