反射電子放出率とは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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反射電子放出率　backscattered-electron yield,backscattered-electron coefficient,backscatter yield,backscatter coefficient

入射電子の個数に対する反射電子の個数の比。入射電子の電流をI₀、反射電子電流をI_bとすると、反射電子放出率ηはη=I_b/I₀で与えられる。原子番号が大きくなると反射電子放出率が大きくなるので、これを画像にすることで組成差をコントラストとしたSEM像を得ることができる。

反射電子放出率

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