光ファイバー型変位計
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/03/02 05:37 UTC 版)
投光光ファイバーと受光光ファイバーを束ねた光ファイバー束を用いて、投光ファイバーから光を被測定物表面に照射し、反射した光を受光ファイバーで受光し、その光の強度が光ファイバー束端面と被測定対象物間の距離で変化することを利用した変位計。 以下の長所・短所がある。 高速応答（応答周波数は数百kHz～数MHz)。 測定対象物の反射率の影響を受ける（差動型は測定対象物の反射率の影響を受けにくい） 測定対象物と測定プローブの距離（作動距離）は、数十μm～数mm 測定ギャップの屈折率や透過率の影響を受ける
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