低温成長プロセスとは？わかりやすく解説

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低温成長プロセス

　LPE法により123層を金属基板上に作製する際には金属基板と溶液の反応を抑制する必要がある。そのため超電導相の成膜温度をおよそ900 ℃以下に低温化することにより、溶液の反応性を小さくして123層を成膜する方法。

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