出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/05/11 05:23 UTC 版)
ex-situな洗浄プロセスにおける第１段階では、トリクロロエチレン、アセトン、メタノールと超音波を使ってウェハーの油分を取り除く。
※この「付加的な段階」の解説は、「RCA洗浄」の解説の一部です。
「付加的な段階」を含む「RCA洗浄」の記事については、「RCA洗浄」の概要を参照ください。
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