出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/06/04 15:44 UTC 版)
「真空」の記事における「主に真空の化学特性を利用したもの」の解説
主に半導体プロセスで利用されていて、電子やイオン、プラズマや光による化学反応を利用している。
※この「主に真空の化学特性を利用したもの」の解説は、「真空」の解説の一部です。
「主に真空の化学特性を利用したもの」を含む「真空」の記事については、「真空」の概要を参照ください。
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