出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/03/02 05:37 UTC 版)
レーザー光を被測定対象物で反射させ、戻り光と照射光の干渉を利用して変位を測定する変位計。単色光を使用するホモダインレーザー干渉計と、わずかに波長が異なる二つのレーザー光を使ったヘテロダインレーザー干渉計とがある。 以下の長所・短所がある。 サブミクロンの分解能が得られる 数100mm～数mの測定範囲が得られる 被測定対象物の表面は、鏡面である必要がある 光路の屈折率の影響を受ける
※この「レーザー干渉方式変位計」の解説は、「変位計」の解説の一部です。
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