ライナーチューブとは? わかりやすく解説

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ライナーチューブ liner tube

磁界レンズ電子線通路設けた筒。ライナーチューブを真空隔壁とすることで、レンズコイル、走査コイル偏向コイル非点補正装置などガス放出の多い部品真空外に置くことができるため、鏡筒内の汚れ少なくすることができる。また、ライナーチューブ内に固定絞り収めることで鏡筒からの取り外し簡単にし、メンテナンス楽にしている装置もある。

関連する用語

ライナーチューブ

【英】:liner tube

レンズ等からのガス透過電子顕微鏡鏡筒試料室汚染しないようにするために、照射系、結像系の鏡筒内に挿入される直径6〜7mmアルミパイプ



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