マイクロ波放電
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/08/21 08:25 UTC 版)
300 MHz以上のマイクロ波を利用し、空洞共振器を用いてマイクロ波の定在波領域にプラズマを生成することによる放電。
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