ヘリウムイオン顕微鏡
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2020/12/07 01:18 UTC 版)
「イオン顕微鏡」の記事における「ヘリウムイオン顕微鏡」の解説
ヘリウム原子を試料に照射して細部の構造を可視化する。微細加工も可能。
※この「ヘリウムイオン顕微鏡」の解説は、「イオン顕微鏡」の解説の一部です。
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