プレナー・ダブルゲート・トランジスタ
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/12/31 04:53 UTC 版)
「マルチゲート素子」の記事における「プレナー・ダブルゲート・トランジスタ」の解説
プレナー・ダブルゲート・トランジスタは、非プレナー型の垂直トランジスタ構造でのより厳しい光学印刷技術を避けて（層の上に層を重ねた）従来型のプレナー型の製造技術でダブルゲート素子を構築したものである。プレナー・ダブルゲート・トランジスタでは、チャンネルは、2つの独立して作られたゲート／ゲート酸化積層の間に挟み込まれている。このような構造での最初の挑戦は、下層と上層との間でセルフ・アライメントさせることで実現できた。
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