ウエットエッチング
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2016/09/11 17:38 UTC 版)
「バルクマイクロマシニング」の記事における「ウエットエッチング」の解説
異方性(結晶面に依ってエッチング速度が違う事を利用。アルカリ性のエッチング液を使う場合が多い) 水酸化カリウム(KOH) TMAH 等方性
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