液浸露光

デジタル大辞泉

えきしん‐ろこう〔‐ロクワウ〕【液浸露光】

読み方：えきしんろこう

ステッパーやスキャナーなどの半導体露光装置で、レンズとシリコンウエハーの間を超純水で満たし、高い解像度で集積回路のパターンを焼き付ける技術。従来、光学顕微鏡で用いられていた液浸法を適用したもので、数十ナノメートル以下の製造プロセスが可能になった。