電子プローブマイクロアナライザ（電子線マイクロアナライザ） EPMA: electron probe microanalyzer
電子線マイクロアナライザ
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2024/05/06 07:23 UTC 版)
電子線マイクロアナライザ（でんしせんマイクロアナライザ、英: Electron Probe Micro Analyzer）または電子プローブ微小分析器、略称 EPMAとは電子線を対象物に照射する事により発生する特性X線の波長と強度から構成元素を分析する電子マイクロプローブ（EMP）装置の一つである[1]。二次電子像や反射電子像による観察が主体の電子顕微鏡に特性X線検出器としてエネルギー分散型X線分析(EDS)を付加したもの（分析用のSEMやTEM、XMAなど）と比較して、EPMAは元素分析を主体としたものであり、特性X線検出器に波長分散型X線分析(WDS)を用いるために定量精度は良いが検出効率が悪く、より高い照射電流を必要とする。
- ^ 「‘電子プローブ・マイクロアナライザ’」(EPMAまたはEMPA)としても知られている「‘電子マイクロプローブ’」(EMP)は、固体素材の少量について非破壊的に化学組成を決定するために使われる分析的なツールである（en:Electron microprobe）。
- ^ Wittry, David B. (1958). "Electron Probe Microanalyzer", US Patent No 2916621, Washington, DC: U.S. Patent and Trademark Office. 英文
- ^ 手のひらに載るほど超小型な電子線プローブＸ線マイクロアナライザーの開発に成功
- ^ Zhang, X. & Briggs, D.E.G. (2007). “The nature and significance of the appendages of Opabinia from the Middle Cambrian Burgess Shale”. Lethaia 40 (2): 161–173. doi:10.1111/j.1502-3931.2007.00013.x 2008年8月20日閲覧。.
- ^ Orr, Patrick J.; Kearns, Stuart L.; Briggs, Derek E.G. (2009). “Elemental mapping of exceptionally preserved ‘carbonaceous compression’ fossils”. Palaeogeography, Palaeoclimatology, Palaeoecology 277 (1-2): 1–8. doi:10.1016/j.palaeo.2009.02.009. ISSN 00310182.
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- 1 電子線マイクロアナライザとは
- 2 電子線マイクロアナライザの概要
- 3 詳細な説明
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- 5 参考文献
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