電子線誘起電流

走査電子顕微鏡基本用語集

電子線誘起電流　EBIC: electron-beam induced current

p-n接合に電子プローブを照射すると電子−正孔対が出来るが、空乏層の電界によって電子はn領域へ、正孔はp領域に移動し、p-n接合の両端に電圧が発生する。これを電子線誘起電圧（electron-beam induced voltage）と言い、外部に回路を接続したとき流れる電流を電子線誘起電流と言う。結晶欠陥があると、電子や正孔はトラップされるため電流を生じない。これらの電流を画像にすると、p-n接合や結晶欠陥を像として観察できる。解像力は試料に入射した電子の拡散領域で決まる。EBICはイービックと読む。

関連する用語

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• 解像力
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