シュノーケル形対物レンズ snorkel objective lens
- 超高分解能SEM用の対物レンズの一種。ヨークの開口部を、光軸に沿った部分ではなく試料側に作ると、対物レンズ下部の空間にレンズ磁界を作ることができる。その中に試料を置くようにすると、対物レンズの収差を小さくすることができるが、インレンズ形対物レンズと違って、大きな試料を扱うことができる。作動距離を短くすれば高解像力が得られ、作動距離を長くすれば、試料の大角度傾斜が可能である。セミインレンズ形対物レンズとも呼ばれるが、二次電子の検出にはTTL検出器が用いられる。なお語源は、最初に作られたレンズが、平面状の外側ヨークに対して、内側ヨークがダイビングで使われるシュノーケルのように突き出していたことによる。内側ヨークの上部空間に試料を置くというのが、元々のアイディアであり、現在のものは上下が逆転している。
関連する用語
シュノーケル形対物レンズと同じ種類の言葉
| レンズに関連する言葉 | 超広角レンズ(ちょうこうかくれんず) サンコンタクトレンズ シュノーケル形対物レンズ 凹レンズ(おうレンズ) DFAレンズ(でぃーえふえーれんず) |
- シュノーケル形対物レンズのページへのリンク
