走査電子顕微鏡基本用語集

インレンズ形対物レンズ　in-lens objective lens

超高分解能SEMで使われる対物レンズの一種。TEMの対物レンズと同じような構造をしており、試料はポールピースの中に置かれていることから、このように呼ばれる。レンズ中に試料が置かれることで収差が小さくできるが、試料周辺の空間は小さく、取り扱える試料の大きさは数mm径である。試料は強磁界の中に置かれるので、バルク状の磁性材料の観察は難しい。二次電子の検出にはTTL検出器が用いられる。試料ステージもTEMとほぼ同様の構造を持っており、サイドエントリータイプのゴニオメータと試料ホルダの組み合わせとなっている。試料ステージが軽量であることから床振動の影響も比較的小さい。

関連する用語

• 対物レンズ
• アウトレンズ形対物レンズ
• シュノーケル形対物レンズ
• ポールピース
• 収差
• TTL検出器
• 試料ステージ
• ゴニオメータ
• 試料ホルダ