走査電子顕微鏡基本用語集

下方検出器　lower detector

シュノーケル形対物レンズで使われる検出器の一種。二次電子の検出に使われるTTL形検出器が上方検出器と呼ばれるのに対して、対物レンズ下方の空間に置かれていることから、下方検出器と呼ばれる。下方検出器は、主として、低角度で試料から放出された反射電子を検出するが、作動距離が長いときや、対物レンズがオフとなる低倍率モードでは、二次電子も検出する。低角度の反射電子が信号となることから、照明効果が強く、凹凸感が強く現れるのが特徴である。
下図に、上方検出器および下方検出器の配置を示す。上方検出器はエネルギーの小さな二次電子（緑色）を検出し、下方検出器は反射電子（赤色）を検出する。

関連する用語

• 対物レンズ
• シュノーケル形対物レンズ
• 二次電子
• 上方検出器
• 反射電子
• 作動距離
• 照明効果