軸合わせ

走査電子顕微鏡基本用語集

軸合わせ（光軸合わせ,アライメント）　optical-axis allignment,axis alignment,alignment

レンズの光軸に一致するように電子線を入射させる操作。SEMでは一般に、電子銃から放出された電子線を集束レンズの光軸に一致させる操作と、集束レンズから出射された電子線を対物レンズの光軸に一致させる操作を行う。前者は明るい像を得るためであり、後者は高い解像力を得るためである。

関連する用語

• 光軸
• 電子線
• 電子銃
• 集束レンズ
• 対物レンズ
• 解像力