透視SEMとは? わかりやすく解説

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透視SEM see-through SEM

多く場合SEM表面形態観察する目的使われているが、高加速電圧内部形態積極的に見ようとする使い方がある。これを透視SEMと呼ぶことがあり、永瀬らによって提唱された。

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