集束レンズ（コンデンサレンズ） CL: condenser lens
- 電子銃と対物レンズの間に置かれたレンズ。電子プローブ径とプローブ電流の制御に用いられる。下図に示したように、励磁を変えると、電子源の像の大きさが変わると同時に対物絞りでカットされる電子の量も変わる。この結果、電子プローブ径とプローブ電流を変化させることができる。熱電子銃およびショットキー電子銃の場合は、広範囲のプローブ電流の制御を行うため、一般に2段集束レンズ系が使われる。熱電子銃の場合はクロスオーバーを1/1000程度に縮小する必要があるため、縮小率が大きいが、ショットキー電子銃の場合は電子源が元々小さいため縮小率は小さい。一方、FE電子銃の場合は主としてプローブ電流の制御に用いられるが、プローブ電流の可変範囲が小さいため一般に1段の集束レンズが使われる。
関連する用語
集束レンズ
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2016/01/14 07:15 UTC 版)
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光における集束レンズ（右）と絞り。
集束レンズ（しゅうそくレンズ）とは、光や電子のビームを集束するレンズのこと。コンデンサー（Condenser ）ともいう。
電子顕微鏡で用いられる集束レンズは電磁レンズであり、電子銃と対物レンズの間に置かれる。電子プローブ径とプローブ電流を制御する。
一般的に、電子銃が熱電子放出型やショットキー型の場合は2段、電界放出型の場合は1段の集束レンズが使われる。
外部リンク
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