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走査電子顕微鏡基本用語集

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多重波高分析器　MCA: multi-channel pulse-height analyzer,multi-channel PHA

複数のチャンネルを持った波高分析器。EDSの計測系に使われるが、EDS検出器の出力パルスをX線のエネルギー毎に計数するのに使われる。すなわち、出力パルスの電圧はX線エネルギーによって異なるので、チャンネル毎の閾値が少しずつ違う複数の波高分析器を並べておけば、X線エネルギー毎の計数ができ、スペクトルデータが得られることになる。

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