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電子プローブ径　electron-probe diameter

電子プローブの直径。電子源の直径、光学系の縮小率、対物レンズの収差などによって決まる。実際の電子プローブ径を測定するには、ナイフエッジ状の試料の上を、電子プローブが横切ったときの、二次電子、透過電子などの信号強度から測定する。しかし、電子プローブが細くなるとこの方法による測定は困難であり、TEM のような拡大・結像系を持つ装置が必要となる。なお、SEMの解像力は電子プローブ径より良い値になる。

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