EUV Database レーザー装置
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/09/12 23:09 UTC 版)
「大阪大学レーザー科学研究所」の記事における「EUV Database レーザー装置」の解説
極端紫外線 (EUV) を発生させる装置。レーザーによるEUV光発生に関し、その理論・シミュレーションデータベースを得るために作られた。レーザー光を発振し増幅する「レーザー部」（EUVデータベース用レーザー装置）、レーザー光を伝送する「伝送部」、レーザーを真空チャンバー内に設置した物質に照射しEUV光に変換する「チャンバー部」で構成される。
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