ＭＯＤ法とは？ わかりやすく解説

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ＭＯＤ法(Metal OrganicDeposition)

ＭＯＤ法(Metal Organic Deposition) 　有機金属化合物を原料として、アモルファス状の活性な前駆体を基板表面に形成し、これを熱処理し結晶化することにより超電導相を得るための手法。超電導体作製において用いられる有機金属化合物としては、オクチル酸塩、TFA金属塩などがある。

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