電気抵抗率（比抵抗、MΩ・cm）、電気伝導率（導電率、μS/cm）：JIS K0552
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/05/10 10:12 UTC 版)
「超純水」の記事における「電気抵抗率（比抵抗、MΩ・cm）、電気伝導率（導電率、μS/cm）：JIS K0552」の解説
最も一般的な指標である。25℃における理論値として、18.24MΩ・cm および 0.05482μS/cmがあげられており、この値に近いほど電解質濃度が小さいことになる。目安として17MΩ・cm以上、0.058μS/cm以下の水なら超純水と呼んでもおかしくないが、半導体工場では18MΩ・cm以上の厳守を要求される。
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