マスフローコントローラ
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出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2022/12/30 07:48 UTC 版)
マスフローコントローラ（英: mass flow controller, MFC）とは、質量流量計（質量流量を測る流量計）に流量制御の機能を持たせたもののことである[1]。単に流量のセンシングだけを行って、制御を行わない場合は、マスフローメータ（mass flow meter）といい、区別することがある。
- ^ Tison, S. A. (1996). “A critical evaluation of thermal mass flow meters” (英語). Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 14 (4): 2582–2591. Bibcode: 1996JVSTA..14.2582T. doi:10.1116/1.579985. ISSN 0734-2101. オリジナルの2019-03-02時点におけるアーカイブ。.
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「マスフローコントローラ」の続きの解説一覧
- 1 マスフローコントローラとは
- 2 マスフローコントローラの概要
- 3 ノズル式MFM/MFCについて
- 4 脚注
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