触針式段差計

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触針式段差計（スタイラスプロファイロメータ）

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2017/09/21 02:42 UTC 版)

「探針」の記事における「触針式段差計（スタイラスプロファイロメータ）」の解説

片持ち梁（カンチレバー）の先端についた先端が尖ったダイアモンドのチップ（スタイラス）で、半導体ウェーハなどの測定試料表面をなぞりその凹凸を測定する機械。なぞった直線上の荒さを紙やモニター上に拡大表示し、荒さや段差の程度を定量的に知ることができる。