窒化物・炭化物・ホウ化物

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窒化物・炭化物・ホウ化物

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/12/10 02:51 UTC 版)

「タンタル」の記事における「窒化物・炭化物・ホウ化物」の解説

他の耐火金属と同様に、発見されているタンタル化合物の中でもっとも硬いのは、ホウ化物や炭化物である。炭化タンタル (TaC) は、同様の用途で用いられている炭化タングステンと同様、硬いセラミックスで、切削工具に使われる。窒化タンタルは、マイクロエレクトロニクスの分野において薄膜絶縁体として用いられる。