出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/02/05 05:39 UTC 版)
ガスパフZピンチの出現により、ZピンチがEUV光から軟X線の領域での強力なパルス光源として再認識されるようになり極端紫外線リソグラフィで使用される極端紫外線光源としての開発が進められる。
※この「極端紫外線光源」の解説は、「Zピンチ」の解説の一部です。
「極端紫外線光源」を含む「Zピンチ」の記事については、「Zピンチ」の概要を参照ください。
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