ラザフォード後方散乱分光とは？わかりやすく解説

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ラザフォード後方散乱分光

出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/07/20 09:29 UTC 版)

ラザフォード後方散乱分光（ラザフォードこうほうさんらんぶんこう、英語: Rutherford backscattering spectrometry、RBS)とは、物質に高速のイオンを照射し、後方散乱したイオンのエネルギーと個数を測定することで元素分析をする表面分析手法。

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