イオン散乱
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2024/07/19 07:34 UTC 版)
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イオン散乱（英語: Ion Scattering）とは、物質に入射したイオンが物質によって散乱される現象のこと。
イオン散乱を用いた固体の構造解析手法は、入射イオンのエネルギーによって大きく二つに分けられる。
- 低速イオン散乱分光 (low-energy ion scattering spectroscopy)
- keV領域の低エネルギーのイオンを照射する方法。単にイオン散乱分光(ISS, Ion Scattering Spectroscopy)と言ったときは、この低速イオン散乱分光のことを意味することが多い。
- ラザフォード後方散乱分光(RBS, Rutherford Backscattering spectroscopy)
- MeV領域の高エネルギーのイオンを照射する方法。
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