ピエゾアクチュエーター
圧電素子をアクチュエーターとして用いたもの。圧電アクチュエーターとも呼ぶ。電極とともに複数個の圧電セラミックスを積層した積層型と、長さ方向に伸縮する横効果ひずみを利用する圧電板を2枚張り合わせたバイモルフ型がある。バイモルフ型は発生する変位が大きいので、せん断ひずみを検出できる構造にして高精度センサーとしても用いられる。
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