シリコン・オン・インシュレータ
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2021/07/18 10:17 UTC 版)
「半導体の低消費電力技術」の記事における「シリコン・オン・インシュレータ」の解説
SOIでは、シリコン結晶中に酸化シリコンの絶縁膜を形成することで、リーク電流を絶縁する。
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