エッチング‐ガス

デジタル大辞泉

エッチング‐ガス【etching gas】

読み方：えっちんぐがす

ドライエッチングで用いられる、高い反応性を示すガス。フルオロメタン、ジフルオロメタン、トリフルオロメタン、六弗化硫黄、六弗化ブタジエンなどが知られる。