六弗化ブタジエンとは？ わかりやすく解説

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ろくふっか‐ブタジエン〔ロクフツクワ‐〕【六×弗化ブタジエン】

読み方：ろくふっかぶたじえん

弗素化合物の一。半導体集積回路の製造工程において、ドライエッチングの洗浄剤として用いられる。大気寿命が短いため、環境負荷が小さく、地球温暖化係数が高いトリフルオロメタンなどの代替品となる。ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン。化学式C4F6


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