エスオーアイとは? わかりやすく解説

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エス‐オー‐アイ【SOI】

読み方:えすおーあい

silicon on insulatorシリコン基板上に薄い絶縁層を介してシリコン単結晶薄膜形成し、この薄膜上に二次元的に広がった形で作製されたシリコンデバイス。従来のものに比して素子間のアイソレーション取れ動作二次元的となるので、設計性がよくなる


エス‐オー‐アイ【SoI】




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