ウィンドウレス検出器とは？わかりやすく解説

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走査電子顕微鏡基本用語集

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ウィンドウレス検出器　window-less detector

EDS検出器の一種。通常検出器前に置かれるベリリウム膜の真空隔壁が無いため、真空隔壁によるX線の吸収が少なく、B以上の元素が検出できる。試料室を大気にするようなときは、検出器の前にあるゲート弁を閉じ、検出器に霜が付かないようにする。最近はあまり使われなくなっている。

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