非晶質シリコンとは？ わかりやすく解説

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非晶質シリコン

読み：ひしょうしつしりこん
英語：ａmorphous silicon

a-Si:H．SiH4（シラン）ガスのグロー放電により作製する．多量のＨを含み局在準位密度が10^17cm３以下に減少し，ＢやＯ添加によるＰＮ制御が可能である．感光体用には高抵抗化のため微量の酸素，炭素等を添加することもある．

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