ちょうびりゅうし

デジタル大辞泉

ちょう‐びりゅうし〔テウビリフシ〕【超微粒子】

読み方：ちょうびりゅうし

大きさがおおむね1〜100ナノメートルの微小な粒子。1粒に含まれる原子数は10³から10¹⁰個程度。金属、セラミックスなどの機能材料分野での応用が進められている。

研磨用語集

超微粒子

ちょうびりゅうし

一次粒子が1μm以下で高度に分散した粒子のこと。1μm以下になった粒子は高い表面エネルギーのため凝集傾向を持つが、気相法や熱分解法で製造された特殊な微粒子は、高い分散性を維持し、ポリシ剤に使用される。