超純水

デジタル大辞泉

ちょう‐じゅんすい〔テウ‐〕【超純水】

読み方：ちょうじゅんすい

純水から有機物・シリカ・ウイルスなどの不純物をできるかぎり除去した水。一般に水温25度で抵抗率が18Mオーム以上の水を指す。医療分野のほか、LSIや液晶ディスプレーの半導体素子の洗浄など、幅広く利用される。