シリカ(μg/L〜ng/L):JIS K0555
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2022/05/10 10:12 UTC 版)
「超純水」の記事における「シリカ(μg/L〜ng/L):JIS K0555」の解説
ケイ酸塩。化学形態により、イオン状とコロイダルで表される。ケイ素を主体とする半導体にとって本質的にやっかいな成分。
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