表面弾性波フィルター
出典: フリー百科事典『ウィキペディア（Wikipedia）』 (2021/02/19 06:05 UTC 版)
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特性
一般に数十メガヘルツ以上の高周波を対象にしたフィルターであり、現在（2005年[1]）のところ、数ギガヘルツまでの周波数帯を取り出すことができる。
一般に、基板側が圧電体である。
SAWフィルタに使われる圧電体としては、水晶のほか、タンタル酸リチウム(LiTaO3 )やニオブ酸リチウム(LiNbO3)などのリチウム化合物がよく用いられているという。
製造の際には、微細電極などの微細部があるため、半導体製造のようにフォトリソグラフィーが用いられ、クリーンルームで製造されるという。
外部リンク
参考文献
- ^ 『トランジスタ技術SPECIAL 電子回路部品活用マニュアル第1集』、CQ出版社、2005年7月1日 発行
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「表面弾性波フィルター」の続きの解説一覧
- 1 表面弾性波フィルターとは
- 2 表面弾性波フィルターの概要
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